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台式扫描电镜
1
、光学系统
光源：自动控制，钨丝阴极
,
预对中灯丝。聚焦：具有手动及自动聚焦功能。分辨率
: 8.0nm @30KV
SE Image
；放大倍数
: x20 ~ x100,000
；加速电压
: 1kv - 30kv
；磁透镜系统
:
双聚光镜；物镜光阑
: 4
位可移动，摇摆对中；扫描光栅电位移及旋转：
+/-50um
，
0~360
°
2
、样品室系统
样品室
:
6
个接口，可接配内置外置
EDS
；样品台：三轴马达驱动，
X (35mm)
Y (35mm)T (0~45
°
)R360Z
向手动（
5-50mm
）；样品尺寸
(
最大
) :
直径
60mm
高度
45mm
3
、真空系统
全自动
(
真空时间
:
小于
2
分钟
)
；
前级真空
:
旋片式机械泵；
高真空
:
涡轮分子泵
4X10-3
Pa
4
、探测器系统
探测器
:
E-T
型二次电子探测器；高灵敏四分割半导体背散射电子探测器（选配）；扫描模式：
选区
(320 x 240 pixel)
，
TV
全屏扫描模式：（
640 x 480pixel
），
三档全屏慢扫描模式
(800 x 600 pixel)
，
照相模式：
1280 x 960
，
2560 x 1920
，
5120 x 3840 pixel
，示波器扫描模式；图像格式
: JPG, TIFF, BMP
；图像显示器
: 21.5 LCD Monitor
；自动控制功能：
电子枪饱和，
电子枪对中，
电子枪偏压，
亮度对比度，
聚焦；工作距离
:
4
~50mm
；控制系统
: USB
通讯接口计算机控制
,Dell i5 PC, 21.5
英寸显示器，独立显卡
2G
内存，操作系统
: Windows 7
；图像处理分析软件
:
图像标注编辑存储，
长度、角度，面积等测量功能，
实时图像灰度直方图显示。
布鲁克能谱仪
主要参数：
1
、
XFlash
®
探头
430M
：能量分辨率
< 133 eV (MnK
a
, 100 000 cps), 1-100 000 cps
分辨率保持不变；最大输入计数率
> 150 kcps
；活性面积
30 mm2
；超薄窗口，元素探测范围硼
(5)
至镅
(95)
；
-
完全无振动，完全免维护，帕尔贴效应致冷。
2
、
XFlash
®
MIN SVE
信号处理单元
(D330)
，最大可输出计数率
60kcps
；超低死时间混合脉冲数据处理器；完全由软件自动控制的硬件校准
3
、输入输出扫描系统和用于实时谱图采集的
Mega Link
接口适配器
4
、
ESPRIT Spectrum ,
用于谱图采集和定性分析的软件，带有实时模式和最完备的原子数据库
5
、
ESPRITUQuant
，用于无标样定量谱图分析的自动软件工具
6
、
ESPRIT
UQuant
（
Q113
），供专业用户使用的扩展谱图分析选项
7
、
ESPRIT
UQuant
，用于用户自定义谱图评估方法的编辑器
8
、
ESPRIT
Scan(Q201)
，从两个可选择的信号源，例如
SE
和
BSE
，采集图像的软件，以及用于外部扫描系统的驱动器（
4096x4096
像素）
9
、
ESPRIT
Multipoint
，自动多点和选区分析软件
10
、
ESPRIT
Line(Q203)
，存储谱图数据库的超快速线扫描软件
11
、
ESPRIT
Map(Q204)
，超快速元素面分布
12
、
ESPRIT
Project(Q126)
，数据管理和归档系统
13
、
ESPRIT
Report(Q121)
，生成报告和格式化打印
14
、
ESPRIT
SEMLink(Q122)
，与
SEM
的数据通信
15
、
Mylar
膜
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